Nínú iṣẹ́ ṣíṣe ọjà gíga àti ìwádìí ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì tó ga jùlọ, ẹ̀rọ ìṣípo tí ó péye ti afẹ́fẹ́ float ti di ohun èlò pàtàkì fún iṣẹ́ dídán àti wíwọ̀n pẹ̀lú iṣẹ́ ṣíṣe déédé rẹ̀ tó dára. Ìpìlẹ̀ ìpele granite, gẹ́gẹ́ bí mojuto àtìlẹ́yìn, ní àwọn ohun tí a nílò fún àyíká iṣẹ́, àti àwọn ipò àyíká tó yẹ ni ìpìlẹ̀ láti rí i dájú pé iṣẹ́ rẹ̀ dúró ṣinṣin àti ipa tó dára jùlọ.
Àkọ́kọ́, ìṣàkóso iwọn otutu: ìṣedéédé "iduroṣinṣin"
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé a mọ̀ granite fún ìdúróṣinṣin rẹ̀, kò ní ààbò pátápátá sí àwọn ìyípadà iwọ̀n otútù. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru rẹ̀ kéré, ní gbogbogbòò 5-7 ×10⁻⁶/℃, nínú àwọn ipò ìṣàkóso ìṣíṣẹ́ tí ó péye, àwọn ìyípadà iwọ̀n otútù díẹ̀ lè fa àwọn ìyípadà oníwọ̀n àti nípa lórí ìṣedéédé module. Nínú ìdánilẹ́kọ̀ọ́ ṣíṣe ërún semiconductor, ìlànà lithography nílò ìṣedéédé ipele danami, iwọ̀n otútù àyíká sì máa ń yípadà nípa 1 ° C, ìpìlẹ̀ granite pẹ̀lú gígùn ẹ̀gbẹ́ mita 1 lè mú ìfàsẹ́yìn tàbí ìfàsẹ́yìn ìlà ti 5-7 microns wá. Ìyípadà kékeré yìí ni module ìṣíṣẹ́ tí ó péye ti afẹ́fẹ́ float gbé kalẹ̀, èyí tó tó láti mú kí ìyípadà àpẹẹrẹ lithography chip náà yapa kí ó sì dín ìbísí kù gidigidi. Nítorí náà, tí a ti fi ìpìlẹ̀ granite tí ó péye ti ẹ̀rọ afẹ́fẹ́ tí ó ń yọ̀ lórí ultra-precision motion module, ó yẹ kí a ṣàkóso ìwọ̀n otutu àyíká iṣẹ́ tí ó dára jùlọ ní 20 ° C ± 1 ° C, pẹ̀lú ìrànlọ́wọ́ àwọn ohun èlò ìgbóná tí ó dúró ṣinṣin gíga, bí iwọ̀n otutu àti ọ̀rinrin tí ó dúró ṣinṣin, ìṣàyẹ̀wò àti àtúnṣe iwọn otutu àyíká, láti rí i dájú pé àwọn ìyípadà iwọn otutu ní ìwọ̀n kékeré, ń pa ìdúróṣinṣin ìwọ̀n ìpìlẹ̀ mọ́, láti rí i dájú pé iṣẹ́ module náà jẹ́ kí ó péye.
Èkejì, ìṣàkóso ọriniinitutu: kọ́kọ́rọ́ sí "òkúta" ààbò tí kò ní ọriniinitutu
Ọrinrin jẹ́ kókó pàtàkì mìíràn tó ń nípa lórí iṣẹ́ ìpìlẹ̀ granite tó péye. Nínú àyíká ọ̀rinrin gíga, granite rọrùn láti fa omi èéfín, èyí tó lè fa ìtújáde omi lórí ojú ilẹ̀, èyí tí kìí ṣe pé ó ní ipa lórí ìdúróṣinṣin ìsopọ̀ granite àti module ìṣípo ultra-precision ti afẹ́fẹ́ float nìkan ni, ṣùgbọ́n ó tún lè fa ìfọ́ ojú ilẹ̀ kí ó sì dín ìrísí àti ìṣedéédé kù nígbẹ̀yìn gbẹ́yín. Nínú iṣẹ́ ìfọ́ lẹ́nsì optical, tí ọ̀rinrin bá ga ju 60%RH fún ìgbà pípẹ́, omi èéfín tí a fà mọ́ ojú ilẹ̀ granite yóò dí ìṣípo ẹ̀rọ float gas float lọ́wọ́, kí ìpéye ẹ̀rọ lílo lẹ́nsì náà lè dínkù, kí ojú ilẹ̀ náà sì ní àbùkù. Nítorí náà, ó yẹ kí a ṣàkóso ọ̀rinrin tó wà ní àyíká iṣẹ́ láàrín 40%-60%RH, èyí tí a lè ṣe àbójútó àti ṣàtúnṣe ní àkókò gidi nípa fífi àwọn ẹ̀rọ dehumidifiers, àwọn sensọ ọriniinitutu àti àwọn ohun èlò míràn sí i láti yẹra fún ìbàjẹ́ sí ìpìlẹ̀ granite nítorí ọ̀rinrin gíga, kí a sì rí i dájú pé module ìṣípo ultra-precision ti afẹ́fẹ́ float náà ṣiṣẹ́ dáadáa.
Ẹkẹta, idaniloju mimọ: "olutọju" ti konge
A kò le fojú kéré ipa tí àwọn èròjà eruku lè ní lórí ìpìlẹ̀ granite tí ó péye ti module ìṣípo ultra-precision ti air flotation. Nígbà tí àwọn èròjà kéékèèké bá wọ inú àlàfo fíìmù gaasi láàrín gaasi flotation àti ipilẹ granite, wọ́n lè ba ìṣọ̀kan fíìmù gaasi jẹ́, kí wọ́n mú kí ìfọ́pọ̀ pọ̀ sí i, kí wọ́n sì tilẹ̀ fa ojú ilẹ̀ ìpìlẹ̀ náà, èyí tí yóò mú kí ìṣípo náà dínkù. Nínú ibi iṣẹ́ ẹ̀rọ tí ó péye ti àwọn ẹ̀yà afẹ́fẹ́, tí àwọn èròjà eruku inú afẹ́fẹ́ bá jábọ́ sórí ìpìlẹ̀ granite, ipa ọ̀nà ìṣípo ti irinṣẹ́ ẹ̀rọ náà lè yí padà, èyí tí yóò nípa lórí ìṣedéédé ẹ̀rọ àwọn ẹ̀yà náà. Nítorí náà, a gbọ́dọ̀ pa agbègbè iṣẹ́ mọ́ tónítóní, kí ó dé ìwọ̀n ìmọ́tótó 10,000 tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ, nípasẹ̀ fífi ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ afẹ́fẹ́ sílẹ̀, gẹ́gẹ́ bí àwọn àlẹ̀mọ́ afẹ́fẹ́ tí ó ga (HEPA), kí ó yọ àwọn èròjà eruku kúrò nínú afẹ́fẹ́, ní àkókò kan náà, àwọn òṣìṣẹ́ nílò láti wọ aṣọ tí kò ní eruku, àwọn ìbòrí bàtà, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, láti dín eruku tí ènìyàn ń mú wá kù. Máa ṣe àbójútó àyíká iṣẹ́ tí ó péye ti ipilẹ granite àti module ìṣípo ultra-precision air float.
Ẹkẹrin, ìyàsọ́tọ̀ gbigbọn: iṣiṣẹ ti o dan ti "pad mọnamọna"
Gbigbọn ita ni ota ti konge ti module išipopada ultra-precision ti afẹfẹ float. Botilẹjẹpe ipilẹ granite konge ni agbara idinku gbigbọn kan, gbigbọn agbara giga le tun fọ opin buffer rẹ. Gbigbọn ti ijabọ ti o wa ni ayika ile-iṣẹ ati iṣẹ ti awọn ohun elo ẹrọ nla n gbe lọ si ipilẹ granite nipasẹ ilẹ, eyiti yoo da idiwọ išipopada ti module išipopada ultra-precision ti afẹfẹ float duro. Ninu CMM giga-end, gbigbọn le fa ki a wọn ifọwọkan laarin ohun elo wiwọn ati iṣẹ naa lati jẹ alaiduro, ti o yorisi iyapa ti data wiwọn. Lati le yanju iṣoro yii, o ṣe pataki lati lo awọn wiwọn iyasọtọ gbigbọn ti o munadoko, gẹgẹbi fifi awọn paadi ipinya gbigbọn sinu agbegbe fifi sori ẹrọ ohun elo, ipilẹ ipinya gbigbọn ile, tabi lilo eto ipinya gbigbọn ti nṣiṣe lọwọ lati ṣatunṣe gbigbọn ita, ati ṣẹda agbegbe iṣẹ idakẹjẹ ati iduroṣinṣin fun ipilẹ deede granite ati modulu išipopada ultra-precision air float.
Nípa títẹ́ àwọn ohun tí a nílò nípa àyíká bí iwọ̀n otútù, ọriniinitutu, ìmọ́tótó àti ìdarí ìgbọ̀nsẹ̀, ìpìlẹ̀ ìṣeéṣe granite ti module ìṣípo ultra-precision ti afẹ́fẹ́ lè fún àwọn àǹfààní iṣẹ́ rẹ̀ ní àyè pípé, pèsè ìdánilójú tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún àwọn iṣẹ́ ìṣeéṣe ultra-precision ní onírúurú ẹ̀ka, àti láti ran ilé iṣẹ́ náà lọ́wọ́ láti lọ sí ìpele iṣẹ́ ṣíṣe àti ìwádìí ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì tí ó ga jùlọ.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹrin-08-2025