Nínú àwọn ẹ̀ka iṣẹ́ ṣíṣe déédé àti ìwádìí ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì, ìdúróṣinṣin àwọn pẹpẹ ìpele granite jẹ́ àmì pàtàkì láti rí i dájú pé àwọn ohun èlò náà péye. Èyí tí ó tẹ̀lé yìí ni ìfihàn kíkún sí ọ̀pọ̀lọpọ̀ ọ̀nà ìwádìí àti àwọn ìlànà iṣẹ́ wọn fún ọ.
I. Ọ̀nà Ìwádìí interferometer lésà
Ẹ̀rọ interferometer laser ni ohun èlò tí a fẹ́ràn jùlọ fún wíwá ààyè gíga tí ó péye. Jẹ́ kí a wo ẹ̀rọ interferometer laser ZYGO GPI XP gẹ́gẹ́ bí àpẹẹrẹ, ìpinnu rẹ̀ lè dé 0.1nm. Nígbà tí a bá ń ṣe àwárí náà, kọ́kọ́ so orísun ìmọ́lẹ̀ interferometer náà pọ̀ mọ́ pẹpẹ náà kí o sì pín ojú pẹpẹ náà sí àwọn agbègbè grid 50mm × 50mm. Lẹ́yìn náà, a kó àwọn ìkọ̀kọ̀ fringe jọ ní ojú kan sí òmíràn, a sì fi àwọn ìkọ̀kọ̀ náà sí i, a sì ṣe àyẹ̀wò wọn nípa lílo polynomial Zernike láti rí àṣìṣe flatness. Ọ̀nà yìí wúlò fún àwọn pẹpẹ gíga tí ó péye, ó sì lè ṣàwárí àwọn àṣìṣe flatness ti ≤0.5μm/m². A sábà máa ń lò ó nínú wíwá àwọn ẹ̀rọ photolithography àti àwọn pẹpẹ ẹ̀rọ ìwọ̀n mẹ́ta tí ó ga jùlọ.
Ii. Ọ̀nà Ìpele Ẹ̀rọ Itanna
Ìwádìí ìpele ẹ̀rọ itanna rọrùn láti ṣiṣẹ́, ó sì gbéṣẹ́ gan-an. A yan ìpele ẹ̀rọ itanna TESA A2 (pẹ̀lú ìpinnu 0.01μm/m) a sì ṣètò rẹ̀ ní ìpele 9×9 ní ìtọ́sọ́nà X/Y ti ìpele náà. Nípa kíkó àwọn ìtẹ̀sí ìpele kọ̀ọ̀kan jọ pẹ̀lú ìṣiṣẹ́, lẹ́yìn náà nípa lílo ọ̀nà onígun mẹ́rin tó kéré jùlọ fún ṣíṣírò, a lè rí iye títẹ́jú náà dáadáa. Ọ̀nà yìí lè dá àwọn ipò concavity àti convexity ti ìpele náà mọ̀ dáadáa. Fún àpẹẹrẹ, a lè rí ìyípadà 0.2μm láàárín 50mm, èyí tó yẹ fún wíwá kíákíá nínú ìṣẹ̀dá ibi-pupọ̀.
Iii. Ọ̀nà kírísítà aláfẹ́fẹ́ opitika
Ọ̀nà ìṣàpẹẹrẹ optical flat crystal yẹ fún wíwá àwọn ìpele kékeré. So optical flat crystal mọ́ ojú ilẹ̀ náà dáadáa kí a lè dán an wò lórí pèpéle náà kí o sì kíyèsí àwọn ìdènà tí ó wà láàárín wọn lábẹ́ ìmọ́lẹ̀ orísun ìmọ́lẹ̀ monochromatic kan (bíi fìtílà sodium). Tí àwọn ìlà náà bá jẹ́ ìlà títọ́ tí ó jọra, ó ń tọ́ka sí ìtẹ̀lẹ̀ tó dára. Tí àwọn ìlà tí ó tẹ̀ bá farahàn, ṣírò àṣìṣe ìtẹ̀lẹ̀ tó dá lórí ìwọ̀n ìtẹ̀lẹ̀ ìlà. Ìtẹ̀lẹ̀ onítẹ̀lẹ̀ kọ̀ọ̀kan dúró fún ìyàtọ̀ gíga ti 0.316μm, a sì lè rí ìwífún ìtẹ̀lẹ̀ nípasẹ̀ ìyípadà tí ó rọrùn.
Ẹrin. Ọ̀nà àyẹ̀wò ẹ̀rọ wiwọn ìṣọ̀kan mẹ́ta
Ẹ̀rọ ìwọ̀n mẹ́ta tó ní ìṣọ̀kan lè ṣe àṣeyọrí ìwọ̀n tó péye ní àyè oníwọ̀n mẹ́ta. Gbé pẹpẹ granite sí orí tábìlì iṣẹ́ ẹ̀rọ ìwọ̀n náà kí o sì lo ìwádìí náà láti kó dátà jọ láti oríṣiríṣi àwọn ibi ìwọ̀n lórí ojú pẹpẹ náà. Ẹ̀rọ ìwọ̀n náà ń ṣe àgbéyẹ̀wò àti ṣàgbéyẹ̀wò àwọn dátà wọ̀nyí láti ṣe ìròyìn ìrọ̀rùn pẹpẹ náà. Ọ̀nà yìí kò lè ṣàwárí ìrọ̀rùn nìkan, ṣùgbọ́n ó tún lè gba àwọn pàrámítà onígun mẹ́ta mìíràn ti pẹpẹ náà ní àkókò kan náà, ó sì yẹ fún wíwá gbogbo àwọn pẹpẹ granite ńlá.
Mímọ àwọn ọ̀nà ìwádìí wọ̀nyí lè ràn ọ́ lọ́wọ́ láti ṣe àyẹ̀wò bí pẹpẹ ìpele granite ṣe rí tó, kí o sì fún ọ ní ìdánilójú tó dájú fún iṣẹ́ tó dúró ṣinṣin ti àwọn ohun èlò ìpele náà.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-29-2025