Nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá ilé iṣẹ́ tó péye àti ìwádìí ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì tó gbajúmọ̀, pẹpẹ granite pẹ̀lú iṣẹ́ rẹ̀ tó dára gan-an ti di ohun èlò pàtàkì láti rí i dájú pé onírúurú iṣẹ́ tó péye ló ń lọ lọ́wọ́lọ́wọ́. Ìwọ̀n ìdíwọ̀n tó lágbára tó ń dáàbò bo ìpayà náà ń fúnni ní ìdánilójú tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ iṣẹ́ tó ní ìpayà sí ìgbọ̀nsẹ̀.
Ni akọkọ, ipilẹ ipinnu ti ipele ẹri iwariri-ilẹ ti pẹpẹ granite
Àwọn ànímọ́ ohun èlò: Pẹpẹ granite ni a fi granite adayeba ṣe, lẹ́yìn ọ̀pọ̀ mílíọ̀nù ọdún ti iṣẹ́ ilẹ̀ ayé, ìṣètò kirisita inú rẹ̀ wà ní ìtòlẹ́sẹẹsẹ tí ó sì bá ara mu. Ìṣètò aláìlẹ́gbẹ́ yìí fún granite ní ìwọ̀n ìyípadà modulus elastic tó kéré gan-an, nígbà tí a bá fi jìjì hàn, ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ohun èlò mìíràn bíi irin, ó lè ṣàkóso ìyípadà elastic rẹ̀ ní ìwọ̀n kékeré. Gẹ́gẹ́ bí ìpinnu àwọn ilé iṣẹ́ ìdánwò tí ó ní àṣẹ, ìyípadà elastic ti granite ní àyíká ìdánwò ìgbọ̀nwọ́ jẹ́ 1/10-1/20 péré ti àwọn ohun èlò irin lásán, èyí tí ó fi ìpìlẹ̀ ohun èlò tí ó lágbára lélẹ̀ fún iṣẹ́ ilẹ̀ ríri gíga ti pẹpẹ náà.
Apẹẹrẹ ìṣètò: Láti ojú ìwòye ìṣètò macro, a ṣe àgbékalẹ̀ ìpele granite pẹ̀lú ìrísí onípele àti ìṣètò ìtìlẹ́yìn tí a ṣe àtúnṣe. A ṣe ìṣirò ìpíndọ́gba gígùn-ìbú-gíga gbogbogbò ti ìpele náà láti rí i dájú pé àárín gbùngbùn dúró ṣinṣin àti dín ewu ìgbọ̀nsẹ̀ tí ìgbọ̀nsẹ̀ ń fà kù. Ní àkókò kan náà, a ṣe ètò ìpínkiri àwọn ibi ìtìlẹ́yìn ní ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì gẹ́gẹ́ bí ìlànà àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ, èyí tí ó lè pín ìwọ̀n àwọn ohun tí a gbé sórí ìpele náà àti agbára ipa tí ìgbọ̀nsẹ̀ òde ń fà. Fún àpẹẹrẹ, nínú ìpele granite ńlá náà, a lo ìpele ìtìlẹ́yìn oní-pupọ, a sì ń ṣàkóso àṣìṣe jíjìn láàrín àwọn ibi ìtìlẹ́yìn tí ó wà nítòsí láàrín ±0.05mm, èyí tí ó ń yẹra fún ìfọkànsí wàhálà agbègbè àti síwájú sí i mú agbára ìjìnlẹ̀ ti ìpele náà sunwọ̀n sí i.
2. Àwọn àmì tó ṣe kedere àti àwọn àpẹẹrẹ ìlò ti ìpele ìdáàbòbò ẹ̀rù kọ̀ọ̀kan
Ipele I boṣewa ti ko ni ipaya (awọn ipo ibeere deede giga-giga)
Àtọ́ka ìyípadà ìgbì: Láàárín ìwọ̀n ìgbì ìgbì tí a ṣe àfarawé (0.1Hz-100Hz), iye gíga ìyípadà ìgbì ní ipòkípò lórí ojú pẹpẹ kò ju 0.001mm lọ. Nígbà tí ìgbì ìgbì ìgbì kékeré tí iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ ńlá tí ó yí i ká bá mú jáde (bíi ìgbì ohun èlò ẹ̀rọ ńlá ní ìgbì tó tó 1Hz-10Hz) bá dí lọ́wọ́, àwọn ohun èlò ìwọ̀n ojú tí ó péye tí a gbé sórí pẹpẹ náà, bíi microscopy agbára átọ́míìkì, ìyípadà ìyípadà láàárín ìwádìí ìwọ̀n àti àpẹẹrẹ tí a wọ̀n kò ṣe pàtàkì, èyí tí ó ń rí i dájú pé ìpéye ìwọ̀n ní nanoscale kò ní ipa lórí.
Ipo Lilo: A maa n lo o ni pataki ninu ilana lithography ti iṣelọpọ chip semiconductor. Iṣelọpọ chip nilo deede lithographic giga pupọ, ati iwọn ila ti de ipele nanometer. Ninu ilana lithography, pẹpẹ granite nilo lati pese atilẹyin iduroṣinṣin fun ẹrọ lithography, ya gbigbọn ti iṣẹ awọn ẹrọ miiran wa ninu iṣẹ naa sọtọ, ati rii daju pe gbigbe deede ti ilana lithography, nitorinaa mu ikore iṣelọpọ chip dara si pupọ. Gẹgẹbi awọn iṣiro ile-iṣẹ, lilo laini iṣelọpọ chip ti o pade ipilẹ granite boṣewa ti o ni aabo-mọnamọna ti ipele akọkọ ti mu ikore pọ si nipasẹ 15%-20% ni akawe pẹlu lilo awọn ipilẹ lasan.
Ipele 2 boṣewa egboogi-mọnamọna (iṣẹlẹ ti o peye giga)
Àtọ́ka ìyípadà ìgbọ̀nsẹ̀: lábẹ́ ìgbìyànjú ìgbọ̀nsẹ̀ ti 0.1Hz-100Hz, ìyípadà ìgbọ̀nsẹ̀ gíga ti ojú pẹpẹ náà ni a ń ṣàkóso láàrín 0.005mm. Fún àwọn àyẹ̀wò ìwádìí ìjìnlẹ̀ onípele kékeré tí a ṣe ní àwọn yàrá ìwádìí sáyẹ́ǹsì ní àwọn yunifásítì, bíi àwọn àyẹ̀wò scanneling tunneling microscope (STM), ìpele iṣẹ́ àìlègbéró yìí lè rí i dájú pé ipò ìbátan láàárín orí STM àti àpẹẹrẹ náà dúró ṣinṣin kódà bí àwọn orísun ìgbọ̀nsẹ̀ ìbílẹ̀ kan bá wà bí àwọn òṣìṣẹ́ tí ń rìn yíká yàrá ìwádìí àti àwọn ohun èlò tí ń rìn yíká yàrá ìwádìí. Nítorí náà, a gba ìwífún nípa ipò quantum ti àwọn patikulu onípele kékeré ní ọ̀nà tí ó tọ́, èyí tí ó fún àwọn olùwádìí ní ìdánilójú láti gba ìwífún ìwádìí tí ó péye.
Ipo Ohun elo: A nlo ni lilo pupọ ninu iṣelọpọ ohun elo onipese giga, gẹgẹbi ilana ṣiṣe atunṣe iwọntunwọnsi itanna onipese giga. Awọn iwọntunwọnsi itanna jẹ ifamọra pupọ si gbigbọn, ati paapaa awọn gbigbọn kekere le fa awọn iyapa ninu awọn abajade wiwọn. Syeed granite, eyiti o pade boṣewa ti ko ni idiwọ mọnamọna ipele keji, le pese agbegbe ti o duro ṣinṣin fun wiwọn ati fifisilẹ iwọntunwọnsi itanna, rii daju pe deede wiwọn ti iwọntunwọnsi de ipele microgram, ati pade ibeere ile-iṣẹ fun deede wiwọn iwuwo giga gẹgẹbi idanimọ oogun ati ohun ọṣọ.
Iwọn boṣewa ti o ni ipele mẹta ti o ni aabo fun mọnamọna (iṣẹlẹ deede giga)
Àtọ́ka ìyípadà ìgbọ̀nsẹ̀: nínú ìwọ̀n ìgbìn gbọ̀nsẹ̀ ti 0.1Hz-100Hz, ìyípadà ìgbọ̀nsẹ̀ gíga ti ojú pẹpẹ kò ju 0.01mm lọ. Nígbà tí a bá dojúkọ ìgbọ̀nsẹ̀ tí iṣẹ́ àwọn ohun èlò àárín tí ó wọ́pọ̀ ní ibi iṣẹ́ ilé-iṣẹ́ ń mú wá (ìwọ̀n ìgbọ̀nsẹ̀ náà sábà máa ń jẹ́ 10Hz-50Hz), ohun èlò ìwọ̀n lásán tí a gbé sórí pẹpẹ granite, bí ohun èlò ìwọ̀n ìṣọ̀kan, lè mú kí ìpéye ìwọ̀n náà dúró ṣinṣin, àti pé ìyàtọ̀ ti ìwífún ìwọ̀n náà ni a ń ṣàkóso láàrín ìwọ̀n kékeré.
Ipo Ohun elo: O dara fun wiwọn deedee ninu iṣelọpọ awọn ẹya ọkọ ayọkẹlẹ. Ipese ẹrọ ti bulọọki silinda ẹrọ ọkọ ayọkẹlẹ, jia gbigbe ati awọn ẹya miiran ni ipa taara lori iṣẹ ati igbẹkẹle ọkọ ayọkẹlẹ. Ninu wiwọn awọn ẹya wọnyi, pẹpẹ granite ti iṣẹ aabo mọnamọna mẹta le ya awọn ohun elo idanileko kuro ni gbigbọn ti n ṣiṣẹ ni imunadoko, lati rii daju pe ohun elo wiwọn coordinate wọn iwọn awọn ẹya naa, awọn ifarada fọọmu ati ipo ati awọn paramita miiran ni deede, lati pese atilẹyin to lagbara fun iṣakoso didara ti awọn ẹya ọkọ ayọkẹlẹ, mu iṣelọpọ ti awọn ẹya ọkọ ayọkẹlẹ kọja oṣuwọn dara si.
Idanwo didara mẹta, ti o muna lati rii daju pe ipele iwariri ilẹ naa ba boṣewa mu
Láti rí i dájú pé gbogbo pẹpẹ granite lè bá àwọn ìlànà ìpele ìjìnlẹ̀ tó báramu mu, a ti gbé ètò àyẹ̀wò tó péye kalẹ̀. Nínú ìlànà ìṣelọ́pọ́, a máa ń ṣe ìdánwò ohun ìní ara tó péye lórí gbogbo ohun èlò granite láti rí i dájú pé ìṣètò inú rẹ̀ dọ́gba láìsí àbùkù tó hàn gbangba. Lẹ́yìn tí a bá ti parí iṣẹ́ ṣíṣe pẹpẹ náà, a máa ń lo ohun èlò ìdánwò ìjìnlẹ̀ tó ti ní ìlọsíwájú láti ṣe àfarawé onírúurú àyíká ìjìnlẹ̀ tó díjú láti dán pẹpẹ náà wò. Nípasẹ̀ sensọ̀ ìyípadà lésà tó péye, ìṣàyẹ̀wò àkókò gidi ti àwọn ìyípadà ìyípòpadà ti ojú kọ̀ọ̀kan lórí ojú pẹpẹ náà nígbà iṣẹ́ ìjìnlẹ̀, a sì máa ń fi data náà ránṣẹ́ sí ètò ìṣiṣẹ́ data ọ̀jọ̀gbọ́n fún ìwádìí. Nígbà tí àwọn àmì ìjìnlẹ̀ ti pẹpẹ náà bá bá àwọn ìlànà ìjìnlẹ̀ tó báramu mu, a gbà wọ́n láyè láti fi wọ́n sí ọjà.
Láti ṣàkópọ̀, pẹpẹ granite pẹ̀lú àwọn ìpele ìpele ìdènà ìjìnlẹ̀ sáyẹ́ǹsì rẹ̀, iṣẹ́ ìdènà ìjìnlẹ̀ tó dára àti ìṣàkóso dídára tó muna, fún iṣẹ́ ìṣẹ̀dá ilé iṣẹ́ àti iṣẹ́ ìwádìí sáyẹ́ǹsì nínú iṣẹ́ tó péye láti pèsè àtìlẹ́yìn tó dúró ṣinṣin, ni ìwákiri ìṣedéédé àti ìgbẹ́kẹ̀lé tó ga jùlọ ti yíyàn náà.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-28-2025